EUV довела нас до 7–2 нм, но цена и сложность растут. Американский стартап Substrate ставит на рентгенолитографию с ускорителями частиц, обещая сопоставимое разрешение и радикальное удешевление вафли. Если ставка сыграет, …
Asml High-Na Euv
-
-
Китай представил первую электронно-лучевую литографию «Сижи» с точностью 0,6 нм — почти как у ASML High-NA EUV. Для массового выпуска она слишком медленная, но для исследований и прототипов подходит идеально. …